8711 型質(zhì)量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內(nèi)對氣體進(jìn)行質(zhì)量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以實現(xiàn)*速度的響應(yīng)。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件，確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具備桌越的控制特性。8711 型設(shè)備可以針對兩種不同的氣體進(jìn)行校準(zhǔn)，用戶可以在兩者之間進(jìn)行切換。作為電氣接口，既提供模擬標(biāo)準(zhǔn)信號，也提供現(xiàn)場總線。8711 型質(zhì)量流量控制器適合多樣化應(yīng)用，例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應(yīng)堆、燃料電池技術(shù)或者試驗臺。

標(biāo)稱流量范圍：0.010 lN/min 至 80 lN/min
測量精度和重復(fù)性高
調(diào)控速度特別快
選配：現(xiàn)場總線接口
技術(shù)數(shù)據(jù)

標(biāo)稱流量范圍1）

（Q標(biāo)稱）

1000萬升/分鐘2）至80升

N/min（氮氣），

見表2

調(diào)低比為1:50，可根據(jù)要求提高調(diào)低比

工作氣體中性，無污染氣體，

應(yīng)要求

校準(zhǔn)氣體工作氣體或具有轉(zhuǎn)換系數(shù)的空氣

 大工作壓力

（入口壓力）

10巴（145磅/平方英寸）

取決于閥門的孔

氣體溫度-10…+70°C（-10…+60°C，含氧）

環(huán)境溫度-10…+50°C

準(zhǔn)確度±0.8%o.R.±0.3%F.S。

（預(yù)熱1分鐘后）

重復(fù)性±0.1%F.S。

穩(wěn)定時間（t95%）<300毫秒

材料

身體

住房

海豹

鋁或不銹鋼

PC（聚碳酸酯）或金屬

FKM、EPDM

端口連接NPT?，G?，螺紋接頭或法蘭，

其他應(yīng)要求

調(diào)節(jié)裝置

（比例閥）

閥孔板

k

VS值

常閉式

0.05…4.0毫米

0.00006…0.32立方米/小時

電氣。連接

另外，現(xiàn)場總線：

插頭D-Sub 15針

帶PROFIBUS-DP：插座M12 5針

帶CANopen：插座M12 5針

24 V直流電源

電壓公差±10%

殘余波紋<2%

 大功耗3.5…14 W

（取決于使用的比例閥）

輸入信號

輸入阻抗

0…5伏，0…10伏，0…20毫安或4…20毫安

>20 kΩ（電壓），

<300Ω（電流）

輸出信號

 大電流（電壓）

 大負(fù)載（電流）

0…5伏，0…10伏，0…20毫安或4…20毫安

10毫安

600Ω

數(shù)字通信

可能通過適配器：

RS232，Modbus RTU（通過RS適配器）

RS485、RS422或USB

（見第3頁附件表）

現(xiàn)場總線選項PROFIBUS-DP，CANopen

防護(hù)等級IP40

尺寸[mm]見圖紙5-7

總重量約500 g（鋁體）

水平或垂直安裝

發(fā)光二極管

（默認(rèn)功能，

其他可編程功能）

電源指示，

限制（模擬信號）/通信

（帶現(xiàn)場總線）和錯誤

二進(jìn)制輸入

（默認(rèn)功能，

其他可編程功能）

二

1啟動自動調(diào)諧

2未的

二進(jìn)制輸出

（默認(rèn)功能，

其他可編程功能）

繼電器輸出：

1限制（未達(dá)到設(shè)定值）

 大負(fù)載：25V，1A，25VA

1） 標(biāo)稱流量值是可控制的 大標(biāo)定流量值。這個

額定流量范圍（可能的）定義了額定流量范圍。

2） 指數(shù)N：指1.013 bar和0°C的流量。

另外，還有一個指數(shù)S，指的是1.013巴和20°C

T

8711型質(zhì)量流量控制器（MFC）是

適用于調(diào)節(jié)氣體的質(zhì)量流量

在大流量范圍內(nèi)。熱MEMS

傳感器直接位于氣流中

因此達(dá)到非常快的響應(yīng)時間。A

Bürkert直動比例閥

保證高靈敏度。集成PI

控制器確保了MFC的桌越控制特性。

8711型可選擇校準(zhǔn)兩個

不同的氣體；用戶可以在

這兩種氣體。作為兩者的電氣接口，

模擬標(biāo)準(zhǔn)信號和現(xiàn)場總線

可用。

8711型質(zhì)量流量控制器適用于各種應(yīng)用，如燃燒器控制、加熱

處理、材料涂層、生物反應(yīng)器、燃料

細(xì)胞技術(shù)或試驗臺。

實際流量由傳感器檢測。這是根據(jù)

一種具有提供質(zhì)量流優(yōu)勢的熱學(xué)原理

與壓力和溫度無關(guān)。

總氣體流的一小部分被轉(zhuǎn)移到

設(shè)計的旁路通道能保證層流條件。

傳感器元件是一個芯片，浸沒在該流道壁中。

該芯片采用MEMS技術(shù)生產(chǎn)，包含一個加熱電阻和

對稱布置的兩個溫度傳感器（熱電堆）

加熱器的上游和下游。的差動電壓

熱電堆是通過流量傳感器的質(zhì)量流量的測量。

校準(zhǔn)程序?qū)崿F(xiàn)了傳感器的為一分配

通過裝置的總流量信號。

為了正確選擇MFC內(nèi)的致動器孔，不僅

所需 大流量Qnom，也可直接取壓力值

在此流速下的MFC（p1，p2）前后Qnom應(yīng)已知。

總的來說，這些壓力與總進(jìn)口和

整個工廠的出口壓力，因為通常有額外的

流量電阻器（管道、附加切斷閥、噴嘴等）同時存在

控制器前后。

請使用第8頁的報價邀請函來說明

MFC前后的壓力。如果這些是未知的

或無法進(jìn)行測量，則應(yīng)通過

考慮到流量為Qnom時，MFC前后流量電阻器上的近似壓降。

此外，請注明可能遇到的 大入口壓力p1 max。需要這些數(shù)據(jù)以確保致動器能夠提供

在所有操作模式下關(guān)閉緊密功能。