質(zhì)量流量計(jì)是一個(gè)準(zhǔn)確、快速、高效的流量測(cè)量?jī)x表。它是對(duì)被測(cè)介質(zhì)的流量進(jìn)行連續(xù)測(cè)量，測(cè)量結(jié)果是以公斤或噸等重量工程單位顯示出來(lái)的流量?jī)x表。 它只能檢測(cè)液體或者氣體的質(zhì)量流量，通過(guò)模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是，它是可以檢測(cè)同時(shí)又可以進(jìn)行控制的儀表。
 

　　流量單位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute)和SLM (Standard Liter per Minute) 來(lái)表示，亦即每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升、每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別，也是SCCM、SLM不同于Ml/min、L/min之處。
 

　　主要的優(yōu)點(diǎn)：
 

　　(1) 直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量
 

　　可以直接測(cè)量流體質(zhì)量流量，輸出質(zhì)量流量信號(hào)，無(wú)需其他設(shè)備，如溫度測(cè)試儀和壓力表，也無(wú)需進(jìn)行換算。
 

　　(2) 無(wú)可移動(dòng)部分
 

　　本身無(wú)類(lèi)似轉(zhuǎn)軸等的移動(dòng)部件，增加了本身的可靠性，無(wú)需機(jī)械維護(hù)。
 

　　(3) 可以精確的測(cè)量微小流量，采用分流裝置，又可以測(cè)量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。
 

　　(4) 測(cè)量控制的自動(dòng)化
 

　　可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示，流量自動(dòng)計(jì)量，數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄，計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常，模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0～+5V或4～20mA,?數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口，能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接,?進(jìn)行自動(dòng)控制。
 

　　(5) 精確地定量控制流量
 

　　質(zhì)量流量計(jì)可以精確地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制，是用于對(duì)于不同氣體的比例控制等。