BURKERT8741型氣體流量控制器

    BURKERT8741型氣體流量控制器必要時可以設置為 MFC 或者 MFM，且規定用于 büS 或者 CANopen 網絡中。büS 網絡技術以 CAN 物理層為基礎，Bürkert 特別為涉及多個控制回路（通過工業以太網或者其他現場總線加以驅動）的應用而對其進行了研發。型號為 ME2X 的系統控制單元將客戶的以太網通信傳輸到所有者的 büS 中，并驅動所有相連的電子設備。設備之間的通信可以在 büS 和 CANopen 之間切換。借此，8741 型也可以集成到現有的 CANopen 基礎設施中。 BURKERT8741型氣體流量控制器借助 MEMS 傳感器進行氣體質量流量的測量（用作 MFM）或者調節（作為 MFC）工作。傳感器直接接觸氣體，因而可以在幾百毫秒之內極其快速地做出反應。此外，測量工作不受壓力或者溫度波動的影響。可以對 MFC/MFM 進行校準，使其用于測量/調節兩種不同的氣體，用戶可以在這兩種氣體之間進行切換。

主要特點：
采用 MEMS 技術直接測量流量
測量和重復精度高
反應時間非常之短
現場總線通信基于 CANopen

技術數據：
額定流量范圍：10 mlN / min至160 lN / min（N2）
調低比例：50：1，可選100：1
工作介質：中性，無污染氣體，其他要求
校準介質：使用氣體或空氣
大操作壓力（超壓至大氣壓力）：10巴（145 psi），MFC大。壓力取決于閥的孔口
介質溫度：-10°C至+70°C（-10°C至+60°C，含氧氣）
環境溫度：-10至+50°C（根據要求可提供更高的溫度）
測量精度：±0.8％o.R. ±0.3％F.S.（1分鐘預熱時間后）
重復性：±0.1％F.S.
沉降（MFC）/響應（MFM）時間（t95％）：<300 ms